사업분야

MCA

정밀 코팅과 Repair 기술로 반도체 공정 부품의 안정성과 수명을 높입니다.

MCA DIMPLE COATING

MCA Dimple Coating

반도체 세정 공정에 적용되는 PVA Sponge Brush 제품으로, AMAT, Ebara, Lam Research 및 국내 장비에 대응하며 고객 요구사항에 따른 주문 제작이 가능합니다.

TiN (現 Coating) 제품 이미지

TiN (現 Coating)

Color: GOLD

MHD 제품 이미지

MHD

Color: Brown

DLC 제품 이미지

DLC

Color: Black

TiCN 제품 이미지

TiCN

Color: Gray

*MHD 코팅은 열처리한 고경도 강의 절삭에 널리 사용되는 TiAlN 코팅의 내마모성과 내산화성을 향상시키기 위해 개발된 코팅물질입니다.

DETAIL INFORMATION

MCA 지원 모델

SUPPORTED MODEL LIST

Supported MCA ESC Models

200mm 9 Models

지원 Model No

0010-01286
0010-03254
0010-03361

0010-04450
0010-12516
0010-13895

0010-13897
0010-22411
0010-94333

300mm 29 Models

지원 Model No

0010-05778
0010-07815
0010-16109
0010-22184
0010-22985
0010-23066
0010-23068
0010-23803

0010-24456
0010-27430
0010-27431
0010-27983
0010-41276
0010-50943
0010-51328

0010-54292
0010-54667
0010-56201
0010-56204
0010-64291
0010-67535
0010-67695

0010-70481
0010-70482
0010-76372
0010-78419
0010-79737
0010-86318
0010-96598

Models not listed here can also be reviewed for compatibility. Please include the wafer size and model number in your inquiry.

MCA ESC Product Gallery

0010-27430 DLC 제품 이미지

0010-27430 DLC

DLC coating

0010-27430 TiN 제품 이미지

0010-27430 TiN

TiN coating

0010-27983 TiN 제품 이미지

0010-27983 TiN

AMAT PVD ENDURA HT

0010-41276 제품 이미지

0010-41276

AMAT PVD ENDURA DT

UlVAC ESC 제품 이미지

UlVAC ESC

ESC product