PVA BRUSH
PVA Sponge Brush
반도체 세정 공정에 적용되는 개방형 흡수성 다공성 PVA Sponge Brush입니다.Product Features
- 폴리비닐알코올과 화학약품의 배합으로 만든 고분자 합성 Sponge
- 수용액을 빠르게 흡수하는 개방형 흡수성 다공성 소재
- 높은 인장 강도와 낮은 마모도를 갖춘 고품질 재질
- 대부분의 화학 물질에 대한 내성이 우수하며 섬유질이나 먼지 발생이 없음
- 고객 요구에 맞춘 제품 설계와 금형 제작 가능
Applications
- Post-CMP
- FEoL, MoL, BEoL
- Substrate
- Prime SI, SOI, Reclaim
- Photomasking cleaning
- Chamber cleaning
DETAIL INFORMATION
Physical & Chemical Properties
Physical Properties
| Property | Value | Measurement conditions |
|---|---|---|
| Pore diameter (µm) | 88 - 200 | DRY |
| Porosity (%) | 88 - 90% | DRY |
| Tensile Strength (kPa) | 400 | WET |
| DI water Absorption Capacity (%) | 700 - 1,100 | - |
Chemical Resistance
| Chemical | Limit |
|---|---|
| Acetic Acid | < 3% |
| Acetone | < 20% |
| Methanol | < 20% |
| Citric Acid | < 10% |
| EDTA | < 10% |
| Ethanol | < 10% |
| Sulfuric acid | < 5% |
| Hydrogen Peroxide | < 5% |
| Hydrochloric acid | < 3% |
| Isopropanol | < 8% |
| Hydrofluoric acid | < 5% |
| Alkali | < 5% |
| Sodium hydroxide | < 5% |
| MEK | < 10% |
| Ammonium Hydroxide | < 20% |
| Phosphoric acid | < 5% |
Benzene, Ethyl Acetate, Xylene, Freon, Toluene, Tetrahydrofuran에는 적합하지 않습니다. 실제 사용 전 현장 조건에서 검증이 필요합니다.
Manufacturing Process
- 제품 설계
- 원료 설계
- 성형 MOLD 설계
- 성형 MOLD 가공
- 성형 MOLD 조립
- 원료 입고
- 수용액 제조
- 발포 및 숙성
- 탈형
- 1차 세척
- 2차 세척
- 검수
- 포장
- 출고
Product Specifications
AMAT 12inch
- 장비
- AMAT
- 웨이퍼
- 12inch
- 사양
- 318mm*70*32
- Type
- Core 일체형
- Core
- PP
AMAT 8inch
- 장비
- AMAT
- 웨이퍼
- 8inch
- 사양
- 218mm*70*32
- Type
- Core 분리형
- Core
- PP
Ebara 12inch
- 장비
- Ebara
- 웨이퍼
- 12inch
- 사양
- 318mm*38*18
- Type
- Core 분리형
- Core
- PP