MCA DIMPLE COATING
MCA Dimple Coating
반도체 세정 공정에 적용되는 PVA Sponge Brush 제품으로, AMAT, Ebara, Lam Research 및 국내 장비에 대응하며 고객 요구사항에 따른 주문 제작이 가능합니다.
TiN (現 Coating)
- 색상
- GOLD
MHD
- 색상
- Brown
DLC
- 색상
- Black
TiCN
- 색상
- Gray
*MHD 코팅은 열처리한 고경도 강의 절삭에 널리 사용되는 TiAlN 코팅의 내마모성과 내산화성을 향상시키기 위해 개발된 코팅물질입니다.
DETAIL INFORMATION
MCA 지원 모델
SUPPORTED MODEL LIST
MCA ESC 지원 모델
지원 Model No
- 0010-01286
- 0010-03254
- 0010-03361
- 0010-04450
- 0010-12516
- 0010-13895
- 0010-13897
- 0010-22411
- 0010-94333
지원 Model No
- 0010-05778
- 0010-07815
- 0010-16109
- 0010-22184
- 0010-22985
- 0010-23066
- 0010-23068
- 0010-23803
- 0010-24456
- 0010-27430
- 0010-27431
- 0010-27983
- 0010-41276
- 0010-50943
- 0010-51328
- 0010-54292
- 0010-54667
- 0010-56201
- 0010-56204
- 0010-64291
- 0010-67535
- 0010-67695
- 0010-70481
- 0010-70482
- 0010-76372
- 0010-78419
- 0010-79737
- 0010-86318
- 0010-96598
찾으시는 Model No가 없더라도 적용 가능 여부를 검토할 수 있습니다.
문의 시 Wafer Size와 Model No를 함께 알려주세요.
MCA ESC Product Gallery
0010-27430 DLC
DLC coating
0010-27430 TiN
TiN coating
0010-27983 TiN
AMAT PVD ENDURA HT
0010-41276
AMAT PVD ENDURA DT
UlVAC ESC
ESC product